电子特种气体在光刻领域的应用及中船特气的供应情况

介绍

中船特气（688146.SH）是一家专注于电子特种气体生产的公司。最近，有投资者在投资者互动平台上提问，询问公司的电子特种气体是否可用于光刻领域。针对这个问题，中船特气在投资者互动平台上给出了回答。

电子特种气体在光刻领域的应用

光刻是一种常见的半导体制造工艺，在集成电路和显示面板制造过程中广泛应用. 而电子特种气体在光刻领域起着重要的作用. 光刻工艺中，需要使用特种气体来创造高纯度的环境，以确保电子器件的质量和性能. 特种气体可以用于光刻胶的开发、显影过程的调控以及光刻设备的清洗等多个方面. 因此，电子特种气体的质量和供应能力对于光刻工艺的稳定性和产品的质量具有重要影响。

中船特气的供应情况

中船特气作为一家专业生产电子特种气体的公司，工艺管理系统其产品主要应用于大规模集成电路和显示面板制造过程中的光刻、退火等多个工艺. 中船特气凭借自身掌握的纯化和混配技术，能够生产出高纯度的混合气产品. 这些混合气产品的组分纯度可达6N，即纯度高达99.9999%. 目前，中船特气已经实现了30余种电子混合气的量产供应. 这表明中船特气在电子特种气体领域具有较强的技术实力和供应能力.

需要注意的是，本文内容和数据仅供参考，并不构成投资建议. 在使用前，请核实相关信息. 投资有风险，操作需谨慎。

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